工具轴承转速 300-20000 rpm 工具接口直径 6 mm 工具左右移动范围（马达驱动） 12 mm 工具左右移动范围（马达驱动） 75 mm 工具左右移动范围（马达驱动） 24 mm 工具前进步径 100 μm，10 μm，1 μm，0.5 μm（可选） 工具左右移动控制参数 左右移动速度可调范围0.025-0.5 mm/s 自动磨抛功能 具有时间倒计时自动控制和进程倒计数自动控制具有自动应力反馈功能，确保样品不被破坏 可设定工具左右移动窗口 冷却液流速控制 自动蠕动泵控制，流速范围2-20 ml/min 体视镜放大倍数 9.6x-77x 样品臂倾斜角度 0°-60°

可进行微尺度样品切割、研磨、抛光；SEM样品离子束研磨/离子束切割前预制备；TEM样品离子束减薄前预制备直径为3mm超薄圆片；超薄切片前样品修块。

无

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