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紫外光刻机
仪器编号
830185
规格
曝光面积：160mm×160mm、曝光波长：365nm、分辨力：≤1m
生产厂家
中国科学院光电技术研究所
型号
URE-2000/35AL
制造国家
国产
仪器单位
汕头大学
放置地点
科技楼606
出厂日期
1970-01-01
购置日期
1970-01-01
入网日期
1970-01-01
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主要规格及技术指标
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曝光面积150mm×150mm，分辨力1μm，对准精度±0.8μm，样片尺寸Φ15mm - Φ150 mm，样片厚度0.1mm - 2mm |
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主要功能及特色
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具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能 |
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主要附件及配置
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曝光光学系统、对准显微镜、工作台、电控系统、单片机系统、视频图像系统 |
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收费标准
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暂无收费标准 |